产品概述：
● 高成本效益设备。
● 一次扫描涵盖所有凸块，产出真实3D数据。
● 适用于SEMI标准。
● 适用于所有基板类型。
● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。
● 适用于4”，6”，8”晶圆 。
● 工业标准数据端口。
NanoFocus半导体晶圆检测设备（人工装载）产品参数
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分辨率 |
X & Y轴: 0.5-2.5um; |
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Z轴：0.016 um; |
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取样率 |
20000 Hz |
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工作距离 |
8 mm |
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扫描宽度 |
630 um |
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高度范围 |
300 um – 400 um |
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机台尺寸 |
400mm x 400mm（可定制） |
