导读：本文主要介绍专注于非接触式光学测量的日本企业——三鷹光器的概况，包括其历史、技术、产品系列和在世界测量领域内所获得的认可。

谈起非接触式光学测量，中国国内比较知名的有德国的莱卡（Leica）、蔡司（Carl Zeiss），美国的Zygo，日本的尼康（Nikon）、奥林巴斯（Olympus），欧洲的海克斯康（Hexagon）等等。今天要介绍的是一家在中国国内声名不显，但是在日本国内以及欧美市场得到广泛认可的日本光学测量专家——三鷹光器（Mitaka），其独特的点激光自动对焦光学测量方式，已经被写入国际ISO25178-605标准，在保证高精度的同时，不受样品反射率的影响，即使是高达87度的倾斜角度，也能捕捉真实的3D数据。

三鷹光器创始于1966年，创始人为中村义一，创业以来专精于高精度天体望远镜、光学测量设备研发制造，深受客户信赖。三鷹不仅参加过180次以上火箭试验，装载了700台以上的观测设备，其特殊照相机装载在美国国家航空航天局（NASA）航天飞机上，另外，获国际专利的脑外科手术显微镜也得到客户的好评。2006年，日本天皇亲自拜访了三鷹光器。

三鷹光器非接触式测量设备包括多个系列。

PF-60系列是体型小巧紧凑的非接触式形貌测量仪，占用空间小，重量仅有60kg，成人可随意搬动，但却有210*210mm大的载物台，X轴和Y轴量程为60mm，光栅尺精度0.1um；Z轴量程为10mm，分辨率为0.01um，非常适合企业研发实验室、高校科研院所使用，可以用来测量光学非球面、自由曲面、菲涅尔透镜、微透镜等产品。

NH系列，是PF-60的工业版，可选配360度旋转的载物台，以测量各种形状的光学非球面，并且进一步提升了X、Y、Z轴的行程，达到150mm*150mm*10mm,垂直方向Z轴精度也进一步提升到1纳米，相对于同领域内常用的松下UA3P，性价比更高，且能避免在非球面上的留下划痕，保护样品。

MLP-3SP系列，是三鷹光器出品的高端光学测量机型，垂直方向z轴分辨率可达1nm，不仅能够以非接触的方式自动对焦，测量2D和3D表面形貌，解析表面粗糙度和波纹度，还能够测量圆球、圆柱等形状的圆度，圆柱度，其测量结果和接触式测量结果具有高度相关性，已经得到ISO国际质量体系认证，甚至能用于多边形和复杂精密齿轮的轮廓测量。在超精密加工、研磨、光学元件领域都有用武之地。

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关键词：非接触 | 光学形貌仪 | 三维表面形貌 | 表面粗糙度仪