导读：本文讨论的核心问题是，非接触式光学测量的确能够使样品表面免于损伤，但并不是万能的，接触式测量的结果仍然具有其重要意义。光学测量中也会遇到的各种难题，例如过高的倾斜角度、极高或极低的表面反射率以及受工件形状限制，无法进行测量等。

当今各个行业的工艺不断向前发展，产品尺寸不断缩小，加工精细化程度不断提高，使得质量控制这一环节对测量仪器和设备的要求越来越高。传统的机械加工行业，轴承件、紧固件都是金属材质，直接使用接触式测量即可；但如今的超精密加工件、非球面镜头、光学薄膜等等产品都十分金贵，就算用非常小的测定力在表面划过，也会导致产品无法再使用。因此，市场对非接触式光学测量的需求越来越大。

但是，每一种技术都有其长处和短处，非接触式光学测量也不是完美的。

简单来说，非接触式光学测量的结果不一定能和接触式测量结果相媲美。接触式的测量是实实在在接触到样品表面后得出的（参见前面一篇文章《台阶仪的工作原理》）。但非接触式测量则是靠不同的光学原理去探测样品的表面形貌，然后通过软件计算出测量的结果，再展示出来。

这一过程存在非常大的变量，包括样品的吸光率、探测光的波长、周围的环境条件（湿度、震动）等等。故此，很多对精度要求严格的产业和研究反而倾向于选择可用的接触式测量结果，或者，就算选用非接触式测量设备，也要事先考察其设备的测量精度，例如重复性等参数和接触式测量的相关性。这种相关性如何评估呢？简单来说就是拿接触式测量的结果和非接触式测量的结果进行比对，越接近接触式的测量结果，那么就说明这种非接触式测量设备的可信度越高。不同的地区、国家和行业都有权威的资质鉴定组织，如果一台非接触式的测量设备能够得到其认可，也就从侧面证明了设备的精度。

日本三鷹光器的非接触式光学形貌测量仪，其非接触式测量原理已经被纳入ISO国际标准25178-6面领域表面纹理分类方法中的“自动对焦分析”（ ISO25178-605：Point Autofocus Probe），其测量结果和接触式测量结果具有高度的相关性（如上图的三鷹光学量测仪MLP-3测量结果与PTB检测表的对比），广泛应用于光学非球面元件、电子元件、超精密加工等各类产品的测量。

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关键词：非接触 | 光学形貌仪 | 三维表面形貌 | 表面粗糙度仪