导读：本文解释了日本小坂研究所生产的Kosaka台阶仪ET200A，其直动式测量原理和业界其他采用杠杆式测量原理的台阶仪有何种区别，以及这种区别给台阶仪精度带来的影响。

台阶仪测量结果精度如何，跟其传感器的工作原理息息相关。台阶仪全都是接触式测量，目前业界的台阶仪，其工作原理大概有两种：直动式运动轨迹与杠杆式运动轨迹，两种不同的运动轨迹，也决定了不同的精度和重现性。

如上图，右侧是采取杠杆式运动轨迹的传感器测量原理。以中间黄色的Bearing Pivot为支点，通过右边的Iron Cylinder上下运动，从而调节左边下方台阶仪测针尖（Stylus Tip）的高低。这种原理从根本上决定了测针尖的运动轨迹是圆弧状的，因此最终测量的数据会产生误差。所以，采用此原理的台阶仪，其测定结果都需要进行“圆弧补偿”，即通过数学运算的方式弥补这种误差。但是，纳米甚至纳米以下级别的测量，即使是这种程度的误差也会影响设备的精度与数据的再现性。

针对此问题，小坂研究所台阶仪ET200A的传感器使用了独特的直动式运动轨迹。如上图左侧可见，与差动变压传感器相连接的测针直上直下，当测针尖划过样品表面时，表面微细形状的变化就可以真实地反应出来，获得最精准的数据，无需担心其他因素的影响。

直动式运动轨迹在设备的精度和数据的重现性方面带来的直接结果是：在200万倍放大倍率下，设备Z轴分辨率可达0.025nm；测量1um以下的台阶时，1σ的数据再现性为0.3nm或更小（理想震动条件下，载物台中心测量台阶高度标准片10次）。

因此，如果您的测量需求对精度和重现性的要求较高（亚微米、纳米级别），欢迎来电垂询，我们将为您提供免费测样服务，帮您解决测量需求！

日本进口的KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000系列，分别对应：学术和科研单位的研发测量（例如工程系、材料系和机电系的材料测量需求），面板、光伏、半导体等产业工厂自动化测量和超大型工厂全自动化测量的需求。

关键词：台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪