产品概述:
配备划时代意义的高精度检出控制系统∶可检出微小形状。·
可测量最小孔径10μm/最大深度300μm的孔内形状。
高分辨率∶ 10nm 可实现低测定压∶ 1pN以下。
采用高弹性光纤维测针。
可测量深孔的内径/外径/深度、沟槽的内宽/外宽/深度、壁面。
具有解析功能∶ 真圆度、圆柱度、直径、段差、槽宽、直角度、粗糙度等多种解析功能。
可通过软件编程,实现自动测量。
搭载测针自动切换装置。
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