随着时代的不同发展，制造业、面板行业、半导体业对于加工精度要求也越来越高，同样对于与之对应的检测设备精度也有更高的要求。在精密量测中，长度单位的选择对于确保测量的准确性和精度至关重要。今天就罗列以下在精密量测中常用的长度单位。

在国际单位制（SI）中，米（m）是基本长度单位，在精密仪器中，常用的长度单位包括以下几种：

纳米（nm）：1 纳米等于 10⁻⁹ 米，是一种在纳米尺寸上研究物质特性和相互作用，以及利用这些特性为人类服务的科学技术。常用于描述微观结构，如原子、分子尺度的距离，以及半导体器件中的特征尺寸等。

微米（μm）：1 微米等于 10⁻⁶ 米，用于界定物理特征尺寸接近1μm的体系，常用于测量微小物体的长度，如：尺寸、薄膜厚度等。

忽米（cmm）：1 忽米等于 10⁻⁵ 米。是工厂常说的丝、条、道。

丝米（dmm）：1 丝米等于 10⁻⁴ 米，1毫米等于10丝米，1丝米等于10忽米。丝米常用于精密制造和工程绘图等领域，确保产品的质量和精度。

毫米（mm）：1 毫米等于 10⁻³ 米，在国际单位制（SI）中，毫米是机械制造中常用的计量单位之一。在精密量测和制造过程中，毫米单位使用普遍，能够满足大多数测量需求，在一些精度要求不是极高但仍需较准确测量的情况下使用。

换算关系如下：

1000纳米=1微米；

10微米=1忽米；

10忽米=1丝米；

10丝米=1毫米；

10毫米=1厘米；

10厘米=1分米；

10分米=1米；

在特定的精密仪器和测量领域，还可能会根据具体的需求使用其他特殊的长度单位或特定的度量标准。

日本进口KOSAKA 台阶仪，有ET200A，ET4000系列和ET10000，可测量各类薄膜厚度，最小测量单位可达0.1nm。

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