进口精密测量仪器网
搜索推荐:小坂台阶仪 |轮廓仪 | 便携式粗糙度仪 | 表面粗糙度仪 | 薄膜测厚仪

质朋仪器贸易(上海)有限公司

株式会社小坂研究所

表面粗糙度仪-质朋新闻

首页-新闻动态

直线度对台阶仪测量结果的影响

2020-12-25 17:03:25

分享:

台阶仪的直线度是什么?有什么作用?如果知道花费几十万元购买的台阶仪,测出来的结果有可能不准,自己所看到的图形和数据,也都是经过测量软件算法处理之后想让你看到的样子,用户想必不会满意。尤其在学术科研领域,极小的数据差别和不理想的重现性变化,都有可能会影响到研究结果的可信度。如果您是科研领域的台阶仪用户,相信这篇文章多少可以为您提供一些可供参考的资料。





台阶仪作为接触式的精密测量设备,其测量方式往往是探针接触样品表面后,沿X轴方向测量一定的长度,然后评估这段长度上出现的台阶高度。这段距离可长可短,一般来说,对精度和分辨率的要求越高,距离应尽可能设置的越短。此外,也要考虑样品工艺和制程是否优良。




如果没有直线度的保证,测量长度越长,测量结果失真就越严重。就好像在黑板上画一条线,画10厘米,大家都能画得很直,和黑板的上下底边保持平行,但如果是50厘米,100厘米,500厘米呢?对设备来说,道理也是一样的。测量长度越长,平台移动轴保持在一条直线上的难度就越大,极小的偏移也会导致测量位置不理想。更何况相对于2D的黑板来说,实际测量中的偏移是3D的,以理想的移动轴直线为轴心线而构成的整个圆柱,都是可能发生偏移的方向。下图中,是没有直线度保证设备的实际测量结果举例。





株式会社小坂研究所专注于精密测量设备的制造,对移动轴直线度的保证有着自己的核心技术。Kosaka ET系列台阶仪,能够达到100mm的测量长度上,其直线度的偏差量小于0.2um——也就是说,如果偏移量是以移动方向为轴心线形成的圆柱,小班研究所可以将这个圆柱做到高度为100,000um,但半径小于0.2um的程度,从而保证还原样品表面的真实形貌和台阶高度。





总而言之,直线度是鲜为人知但却对测量结果有重要意义的一项技术参数。如果您的研究成果或研发产品对这一指标有较高标准,欢迎您致电质朋仪器,我们将为您提供专业的仪器选购咨询、免费的测样服务和优质的售后服务。质量向上,朋贤友达,期待您的垂询!




日本进口KOSAKA 台阶仪,有ET200A,ET4000系列和ET10000,分别对应:学术和科研单位的膜厚测量(如工程系、材料系和机电系材料测量需求),面板、光伏、半导体等产业工厂自动化测量和超大型工厂全自动化测量的需求。



关键词:台阶仪 | 膜厚仪 | 薄膜测厚仪 | 段差分析仪



KOSAKA精密测量仪器报价咨询

您的咨询对我们很重要,我们的销售会第一时间联系您!

获取报价